如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: Hamamatsu濱松光子學(xué)膜厚測量系統(tǒng)
產(chǎn)品型號: C11295
產(chǎn)品展商: 日本Hamamatsu濱松光子學(xué)
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
Multipoint NanoGauge 膜厚測量系統(tǒng) C11295 是一種利用光譜干涉法的薄膜膜厚測量系統(tǒng)。作為半導(dǎo)體制造過程的一部分，它旨在測量薄膜厚度，以及用于對安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備上的 APC 和薄膜進(jìn)行質(zhì)量控制。允許實時進(jìn)行多通道測量，可在薄膜表面同時進(jìn)行多通道測量和多點測量。同時，它還可以測量反射率（透射率）、物體色及其隨時間的變化。
Hamamatsu濱松光子學(xué)膜厚測量系統(tǒng)
的詳細(xì)介紹
|
型號
|
C11295-XX*1
|
|
可測量的薄膜厚度范圍（玻璃）
|
20 nm 至 100 μm*2
|
|
測量重現(xiàn)性（玻璃）
|
0.02 nm*3 *4
|
|
測量精度（玻璃）
|
±0.4%*4 *5
|
|
光源
|
氙光源 *6
|
|
測量波長
|
320 nm 至 1000 nm
|
|
光斑尺寸
|
約 φ1 mm*4
|
|
工作距離
|
10 mm*4
|
|
可測量層數(shù)
|
*多 10 層
|
|
分析
|
FFT 分析、擬合分析
|
|
測量時間
|
19 ms/point*7
|
|
光纖連接器形狀
|
SMA
|
|
測量點數(shù)
|
2 至 15
|
|
外部控制功能
|
以太網(wǎng)
|
|
接口
|
USB 2.0（主機(jī) - 計算機(jī)）
RS-232C（光源 - 計算機(jī)）
|
|
電源
|
AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
|
|
功耗
|
2 通道時：大約 350 VA，15 通道時：約 500 VA
|
濱松光子學(xué)株式會社總部位于靜岡縣濱松市，是一家主要產(chǎn)品包括光電倍增管、光學(xué)半導(dǎo)體器件以及圖像處理和測量設(shè)備的制造商。靜岡縣內(nèi)有七個生產(chǎn)基地，其中包括位于濱松市的總工廠。
1948年成立時名為東海電子研究所，1953年成立濱松電視株式會社，開始生產(chǎn)將光轉(zhuǎn)換為電信號并檢測電信號的光電管。1983年，公司名稱變更為濱松光子學(xué)株式會社，并于1998年3月在東京證券交易所**部上市，至今仍在那里。
公司業(yè)務(wù)大致分為電子管業(yè)務(wù)、固態(tài)業(yè)務(wù)、系統(tǒng)業(yè)務(wù)、激光業(yè)務(wù)四大類。所有這些公司主要開發(fā)、制造和銷售“發(fā)光”、“捕獲光”和“測量光”的產(chǎn)品。具體產(chǎn)品包括光電二極管等光學(xué)傳感器、LED 等光源以及配備 CMOS 和 CCD 的高性能相機(jī)。特別是在光傳感器領(lǐng)域，光電倍增管自公司成立以來一直是代表產(chǎn)品，并為獲得諾貝爾物理學(xué)獎做出了貢獻(xiàn)，多年來不斷發(fā)展，目前在全球市場占有率高達(dá)約90%。此外，光半導(dǎo)體器件、測量設(shè)備等種類繁多的產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、工業(yè)、分析、測量、學(xué)術(shù)界等領(lǐng)域，被世界各地的制造商和研究機(jī)構(gòu)所使用，正在全球擴(kuò)張，海外市場約占其銷售額的70%。
